快速切割脆性材料制成的工件的方法和装置<%=id%>

摘要
　本发明涉及一种通过激光束沿着任何所需轮廓的切割线快速切割由脆性材料制成的工件的方法和装置。该方法包括以下步骤：产生激光束；成对引导该激光束聚焦到该切割线上而不熔化该材料；以下种方式成形各激光束，即在将要切割工件的表面上用作焦点的该光束截面与一预定形状和强度分布相对应；在该激光束和该工件之间沿该切割线产生相对运动，并引入热机应力；在加热的切割线部分上喷射流体冷却介质以便其随后冷却并增加热机应张力到高于该材料的破裂强度的一点。
主权项
　权利要求书 1.一种通过激光束沿着任何所需轮廓的切割线快速切割由脆性材料制成的工件的方法，包括以下步骤： -产生激光束， -成对引导该激光束聚焦到该切割线上而不熔化该材料， -以下种方式成形各激光束，即在将要切割工件的表面上用作焦点的该光束截面与一预定形状和强度分布相对应， -在该激光束和该工件之间沿该切割线产生相对运动，并引入热机应力， -喷射流体冷却介质以便随后冷却加热的切割线部分，使得热机应力增加到高于该材料的破裂强度。

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