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> 颁 证 日：
优 先 权：
2001.9.10 JP 273432/2001
申请(专利权)人：
株式会社荏原制作所;株式会社东芝
地 址：
日本东京
发 明 (设计)人：
畠山雅规;村上武司;佐竹徹;野路伸治
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代 理 人：
蒋世迅
摘要
一种检测设备，用于检测样本表面上精细几何图形，其中辐射波束照射到不同于大气的差异环境中放置的样本，并利用传感器检测从该样本上射出的二次电子，其中传感器放置在差异环境之内，处理来自传感器检测信号的处理装置放置在差异环境之外，而传输装置发射来自传感器的检测信号到处理装置。
主权项
权利要求书
1.一种检测设备，用于检测样本表面上的精细几何图形，包括：
照射装置，用于照射辐射波束到不同于大气的差异环境中放置的
样本；
传感器；
引导装置，用于引导从样本上射出的二次辐射到传感器；
处理装置，用于处理从传感器输出的检测信号；和
传输装置，用于发射来自传感器的检测信号到处理装置，
其中传感器放置在差异环境之内，处理装置放置在差异环境之外。
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