水系保护膜剥离液管理装置及水系保护膜剥离液管理方法<%=id%>

颁证日：
优先权： 2001.6.25 JP 191703/2001
申请(专利权)人：株式会社平间理化研究所;长濑产业株式会社
地址：日本神奈川
发明 (设计)人：中川俊元;片桐优子;小川修;森田悟
国际申请：
国际公布：
进入国家日期：
专利代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：陈昕
摘要
　按照本发明的水系保护膜剥离液管理装置，是在调整槽内对在保护膜剥离设备中使用的水系保护膜剥离液进行管理的水系保护膜剥离液管理装置。在本装置中，在保护膜剥离处理槽(调整槽)中，通过管路将测定水系保护膜剥离液中的水分浓度的吸光光度计和测定劣化成分浓度的电导率计连接，基于这些测定值，向保护膜剥离处理槽中供给保护膜剥离原液、保护膜剥离再生液、纯水、以及预先调合的保护膜剥离新液中的至少任一种。由此，在使水系保护膜剥离液的保护膜剥离性能维持稳定的同时，能够谋求使用液量的削减以及操作停止时间的缩短。
主权项
　权利要求书 1.水系保护膜剥离液管理装置，它是在调整槽内对在保护膜剥离设备中使用的水系保护膜剥离液进行管理的水系保护膜剥离液管理装置，其特征在于具备：测定来自上述调整槽内的水系保护膜剥离液的劣化成分浓度的劣化成分浓度测定手段，向上述调整槽中供给水系保护膜剥离原液、水系保护膜剥离再生液、纯水、及预先调合的水系保护膜剥离新液中的至少任一种的液体供给手段，以及基于上述测定的劣化成分的浓度，控制向上述调整槽中供给液量的液体供给量控制手段。

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