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分 类 号：
G03F7/26;H01L21/027;H05B33/22;H05B33/14;H05B33/12
颁 证 日：
优 先 权：
2000.3.9 JP 64809/2000
申请(专利权)人：
克拉瑞特国际有限公司
地 址：
瑞士穆滕茨
发 明 (设计)人：
小林聪
国 际 申 请：
CT/JP01/01708 2001.3.6
国 际 公 布：
WO01/67180 日 2001.9.13
进入国家日期：
2002.09.03
专利 代理 机构：
北京三幸商标专利事务所
代 理 人：
刘激扬
摘要
使用负性感光树脂组合物形成倒锥形抗蚀图案的方法，其特征在于负性感光树脂组合物包括(A)碱溶性树脂，该树脂由用通式(I)代表的羟甲基双酚化合物、醛和任选的苯酚化合物缩聚得到，(B)交联剂和(C)光致酸生成剂。本发明形成的图案为良好的倒锥形图形，在喷射法中，它可以成为抗蚀图案，并可以作为有机EL板的隔离层。
主权项
权利要求书
1.使用负性感光树脂组合物形成倒锥形抗蚀图案的方法，其
中负性感光树脂组合物包括碱溶性树脂，该树脂由通式(I)代表的
羟甲基双酚化合物和醛缩聚得到，根据需要任选加入苯酚类化合
物：
其中R1到R4分别代表氢原子、C1到C3的烷基或-CH2OH，
并且R1到R4中至少一个代表-CH2OH，以及R5和R6分别代表氢
原子或C1到C3烷基。
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