具有金属-绝缘体-金属电容器的集成元件<%=id%>

分类号： H01L29/92;H01L21/02
颁证日：
优先权： 2000.3.1 EP 00104264.7
申请(专利权)人：因芬尼昂技术股份公司
地址：德国慕尼黑
发明 (设计)人： M·施伦克;M·施韦德
国际申请： CT/EP01/01853 2001.2.19
国际公布： WO01/65610 德 2001.9.7
进入国家日期： 2002.09.02
专利代理机构：中国专利代理(香港)有限公司
代理人：赵辛
摘要
　一种制造具有集成金属-绝缘体-金属电容器(7)的集成元件的方法。首先，将层间电介层(11)和上部电极(12)沉积在由铜制成的下部电极(6)的整个表面上。然后，金属-绝缘体-金属电容器(7)图案形成，并且蚀刻过程中止于层间电介层(11)。这样可以避免上部电极(12)和下部电极(6)之间发生短路。
主权项
　权利要求书 1.具有含铜合金的内连导线(3，8，14)和一个金属-绝缘体-金属电容器(7)的集成元件，其特征在于，该电容器(7)由一在一用于内连导线的金属平面(5)的第一电极 (6)、一首先用作蚀刻中止层的层间电介层(11)和一金属化层(12)构成。

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