一种电荷耦合器件响应线性度的标定方法<%=id%>

分类号： H04N17/00;H01L21/66;G01N21/00
颁证日：
优先权：
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所
地址： 610209四川省成都市双流350信箱
发明 (设计)人：段海峰;杨泽平;王淑青;张雨东
国际申请：
国际公布：
进入国家日期：
专利代理机构：成都信博专利代理有限责任公司
代理人：张一红
摘要
　本发明公布了一种电荷耦合器件响应线性度的标定方法。本发明利用单色平面光照射衍射屏，并经傅立叶透镜会聚，用电荷耦合器件对傅立叶透镜后焦平面的光斑点阵进行采样，获得光斑点阵输出灰度值；分析由夫琅和费衍射理论计算出的光斑强度理论分布值与电荷耦合器件采样的输出灰度值，实现对电荷耦合器件响应线性度的标定。该方法具有调试容易，成本低的特点，便于工程实现。
主权项
　权利要求书 1、一种电荷耦合器件响应线性度的标定方法，其特征在于包括下列步骤：制作狭缝衍射屏(1)，选择衍射屏参数，使衍射的主极大宽度与待测电荷耦合器件(3)的靶面尺寸相同；将傅立叶透镜(2)置于衍射屏后，并将待测电荷耦合器件(3) 置于傅立叶透镜(2)的后焦平面位置；利用一束单色平面光照射衍射屏(1)，进行待测电荷耦合器件 (3)输出灰度值的采样，获得衍射光斑输出灰度值；计算光斑强度理论分布值，并与待测电荷耦合器件(3)采样的光斑输出灰度值比较，实现对待测电荷耦合器件(3)响应线性度的标定。

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