金属-绝缘体-金属电容器及其制作方法<%=id%>

分类号： H01L29/92
颁证日：
优先权： 2000.3.6 EP 00104821.4
申请(专利权)人：因芬尼昂技术股份公司
地址：德国慕尼黑
发明 (设计)人： R·拉奇纳;M·施维德;M·施伦克
国际申请： CT/EP01/02511 2001.3.6
国际公布： WO01/67522 德 2001.9.13
进入国家日期： 2002.09.05
专利代理机构：中国专利代理(香港)有限公司
代理人：赵辛
摘要
　集成组件层结构中的电容器层叠(12)与邻近的互连层(13)之间除电介质夹层(5)外具有相同的层序列。这显著地方便了通孔(16)的制作。
主权项
　权利要求书 1.一种有多个互连层(13)和一个电容器(12)的集成元件，其中的电容器(12)包含一个第一电极(14)、一个电介质夹层(5) 和一个第二电极(15)，其特征在于，电容器(12)的电极(14和 15)总的层序列(3、4、7-11)与邻近互连层(13)的层序列(3、 4、7-11)完全相同。

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