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77;C21D9/00
颁 证 日：
优 先 权：
1999.10.20 DE 19950498.9
申请(专利权)人：
西门子公司
地 址：
德国慕尼黑
发 明 (设计)人：
V·普罗布斯特
国 际 申 请：
CT/DE00/03720 2000.10.20
国 际 公 布：
WO01/29902 德 2001.4.26
进入国家日期：
2002.06.18
专利 代理 机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代 理 人：
程天正;张志醒
摘要
本发明涉及一种用于借助电磁辐射同时退火和处理多种处理物的装置。所述的装置是一种堆式炉，其中，如此彼此紧靠地布置处理物和能源，使得在两种能源之间存在着一种处理物，和在两种处理物之间存在着一种能源。所述的装置尤其适合于在有处理气体的情况下将处理物退火。借助所述的装置，一种具有可变处理参数(譬如气压、加热速率、冷却速率)的可变的加热和冷却分布是可能的。尤其能够将具有不同物理特性(热传导系数、热膨胀系数、吸收和辐射能力等等)的大面积多层体形式的处理物可靠地退火。借助所述的装置和方法能够将一种有毒和/或腐蚀性的处理气体采用于处理物的处理。所述的装置或方法譬如适用于制造薄膜太阳能模块。
主权项
权利要求书
1.用于在某种气氛(50)中通过由一种处理物(33，43)借助吸
收某种电磁辐射(34，44)摄取一种能量，并通过由至少一种其它处
理物(43，33)借助吸收至少某种其它电磁辐射(44，34)摄取至少
一种其它能量来退火多种处理物(33，43)的装置，其中，所述的装
置具有
-至少一种用于建立所述气氛的装置(11)，
-一种带有至少一种用于生成所述电磁辐射(34)的能源(32)
的退火单元(3)，和
-至少一种带有至少一种用于生成所述其它电磁辐射(44)的其
它能源(42)的其它退火单元(4)，其中，
-所述的退火单元(3)和所述的其它退火单元(4)是如此彼此
紧靠地布置成一种退火堆(2)的，使得
-在所述退火堆(2)的某种堆方向(22)上，在所述能源(32)
和所述其它能源(42)之间可以布置所述的处理物(33)，而在所述
的处理物(33)和所述的其它处理物(43)之间可以布置所述的其它
能源(42)。
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