基于原子力显微镜技术的测量衬底上柔软样品高度的方法<%=id%>

分类号： G01N13/16
颁证日：
优先权：
申请(专利权)人：上海交通大学
地址： 200030上海市华山路1954号
发明 (设计)人：李晓军;孙洁林;胡钧;李民乾
国际申请：
国际公布：
进入国家日期：
专利代理机构：上海交达专利事务所
代理人：毛翠莹
摘要
　一种基于原子力显微镜技术的测量衬底上柔软样品高度的方法，将导电针尖装入针尖支架上并与外界电源相连，针尖支架与仪器的其他接地部分绝缘，先调节参数得到稳定的成像，然后将0～±15V、频率为200～300KHz的交流电加在针尖上；通过调节A 参数或插入扫描频道中的扫描高度参数来改变针尖高度的两种途径，得到被测样品的高度。本发明的方法由于静电力的导入扩大了针尖与样品的距离，使针尖在垂直方向上的位移更容易控制，可以在不同的高度上稳定成像，在柔软的生物样品的高度测量上更有优势。
主权项
　权利要求书 1、一种基于原子力显微镜技术的测量衬底上柔软样品高度的方法，其特征在于包括： (1) 将导电针尖装入针尖支架上并与外界电源相连，针尖支架与仪器的其他接地部分绝缘，先调节参数得到稳定的成像，然后将0～±15V、频率为 200～300KHz的交流电加在针尖上； (2) 通过调节A 参数或插入扫描频道中的扫描高度参数来改变针尖高度的两种途径，得到被测样品的高度。

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