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分 类 号：
H01J9/02
颁 证 日：
优 先 权：
2001.9.28 JP 304612/2001
申请(专利权)人：
佳能株式会社
地 址：
日本东京
发 明 (设计)人：
竹上毅;河出一佐哲;小口高弘;神代和浩
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代 理 人：
杜日新
摘要
一种电子源的制造方法，在激活工序中，多级地切换激活气体分压的设定值，而且，在切换设定值之后的预定时间的期间不施加补偿电压。或者，一边切换1条行布线或列布线，一边反复进行多次，而且，在切换1条行布线或列布线之后的预定时间的期间不施加所述补偿电压。由此，可以对全部电子发射元件进行均匀的激活处理。
主权项
权利要求书
1.一种电子源的制造方法，该电子源包括设置在基片上的多个行
布线和列布线、分别连接这些布线的多个电子发射元件，该电子源的
制造方法包括：
在所述电子发射元件形成电子发射部的工序，及在此之后，通过
在激活气体气氛中对所述电子发射元件施加电压，在包含所述电子发
射部的区域淀积碳或碳化合物的激活工序，其特征在于，
在所述激活工序中，包括如下工序，通过选择多个行布线或列布
线中的一种布线的一部分，规定该被选择的布线的电位，在对与该被
选择的布线连接的全部电子发射元件施加电压之时，借助多个行布线
或列布线中的另一种布线，把对该被选择的布线所产生的电压下降部
分进行补偿的补偿电压，施加在与该被选择的布线连接的各电子发射
元件，
在施加该补偿电压的工序中，进行把向被选择的布线所连接的电
子发射元件施加的补偿电压限制在预定时间的操作。
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