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分 类 号：
H01L31/0224;H01L31/18;H01L21/28
颁 证 日：
优 先 权：
申请(专利权)人：
北京科技大学
地 址：
100083北京市海淀区学院路30号
发 明 (设计)人：
万发荣;龙毅
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
北京科大华谊专利代理事务所
代 理 人：
刘月娥
摘要
本发明提供了一种纳米二氧化钛薄膜，其特征是由致密二氧化钛层(24)和多孔二氧化钛层(25)组成，且上述致密二氧化钛层(24)位于导电玻璃(1)的导电薄膜(11)和多孔二氧化钛层(25)之间。(1)为导电玻璃，(11)为导电薄膜，(24)为致密二氧化钛层，(25)为多孔二氧化钛层。其优点在于，纳米二氧化钛薄膜与基体能够牢固结合，比表面积可达1000以上。
主权项
权利要求书
1.一种纳米二氧化钛薄膜，其特征是由致密二氧化钛层(24)和多孔二氧
化钛层(25)组成，且致密二氧化钛层(24)位于导电玻璃(1)的导电
薄膜(11)和多孔二氧化钛层(25)之间。
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