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分 类 号：
05B17/06 05B1/14
颁 证 日：
优 先 权：
申请(专利权)人：
上海交通大学
地 址：
200030上海市华山路1954号
发 明 (设计)人：
周之斌;崔容强;蔡燕晖;刘梅苍
国 际 申 请：
国 际 公 布：
进入国家日期：
专利 代理 机构：
上海交达专利事务所
代 理 人：
王锡麟
摘要
喷涂沉积大面积均匀透明导电薄膜的喷嘴属于半导体电子材料镀膜领域。为具有一定规律分布的小圆孔的一维结构喷嘴，或为具有一定规律排列的阵列两维结构的两维喷嘴，或者是一维单狭缝喷嘴和多组长条型狭缝喷嘴平行排列的二维喷嘴，喷嘴的喷孔有两种结构，一是小圆孔喷孔，二是狭缝喷孔，一维喷嘴上的小圆孔喷孔，为单行均匀分布排列，两维结构喷嘴的小圆孔分布在50×50mm2～150×150mm2两维范围内，一维单狭缝喷嘴和多组长条型狭缝喷嘴平行排列，它们分布在50×50mm2～150×150mm2两维范围内。采用本发明的喷嘴得到的大面积透明导电薄膜，其方块电阻可达4Ω/□，透过率达90％(600nm波长入射光)，薄膜中心和边缘的膜厚、电学性质不均匀度小于5％，更适合工业化大规模生产。
主权项
权利要求书
1、一种喷涂沉积大面积均匀透明导电薄膜的喷嘴，其特征在于：为具有一定
规律分布的小圆孔(1)的一维结构喷嘴，或为具有一定规律排列的阵列(2)两
维结构的两维喷嘴，或者是一维单狭缝(3)喷嘴和多组长条型狭缝(3)喷嘴平
行排列的二维喷嘴，喷嘴的喷孔有两种结构，一是小圆孔(1)喷孔，二是狭缝
(3)喷孔，一维喷嘴上的小圆孔(1)喷孔，为单行均匀分布排列，两维结构喷
嘴的小圆孔(1)分布在50×50mm2～150×150mm2两维范围内，一维单狭缝(3)喷嘴
和多组长条型狭缝(3)喷嘴平行排列，它们分布在50×50mm2～150×150mm2两维范
围内。
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