具有防止电极碳化结构的等离子体聚合装置<%=id%>

分类号： C08F2/52;C23C14/24;C23C14/12;C23C14/56
颁证日：
优先权：
申请(专利权)人：乐金电子(天津)电器有限公司
地址： 300402天津市北辰区兴淀公路
发明 (设计)人：郑永万
国际申请：
国际公布：
进入国家日期：
专利代理机构：天津三元专利事务所
代理人：郑永康
摘要
　一种具有防止电极碳化结构的等离子体聚合装置，包括工作箱，其内部设有上、下电极，其一侧设有提供薄板的放缠绕机，另一侧设置缠绕形成聚合物镀膜薄板的缠绕机；上、下电极后部设有为缩小放电范围，以减少形成聚合物镀膜的屏蔽板；屏蔽板下面附着有为割断进行聚合物镀膜的金属网丝。本发明可减少电极上附着的聚合物以延长电极的使用寿命。
主权项
　权利要求书 1、一种具有防止电极碳化结构的等离子体聚合装置，包括工作箱，其内部设有上、下电极，其一侧设有提供薄板的放缠绕机，另一侧设置缠绕形成聚合物镀膜薄板的缠绕机；其特征在于所述上、下电极后部设有为缩小放电范围，以减少形成聚合物镀膜的屏蔽板。

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