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    一种等离子体聚合处理装置的电极<%=id%>


    分 类 号: C23C14/00;C23C16/44
    颁 证 日:
    优 先 权:
    申请(专利权)人: 乐金电子(天津)电器有限公司
    地 址: 300402天津市北辰区兴淀公路
    发 明 (设计)人: 郑永万
    国 际 申 请:
    国 际 公 布:
    进入国家日期:
    专利 代理 机构: 天津市才智有限责任专利代理事务所
    代 理 人: 王晓红
    摘要
      本发明是提供与等离子体聚合处理装置相关的电极,本发明等离子体聚合处理装置的电极是金属钛,电极形状为网型,在聚合反应时,使用钛作为上述电极的材料,以防发生火花放电;上述电极构造因碳化物形成较少,所以使用时间较长;电极采用网型,电极上的电荷不会集中在某个区域,因此电流密度形成均一的网型构造;电极放电时,即使形成碳化也能保持均一性,这样,不仅提高等离子体聚合处理产品的质量,而且提供了高质量的等离子体附着可能。
    主权项
      权利要求书 1 一种等离子体聚合处理的电极,用于材料表面聚合处理装置中,其特征在于 电极材料是钛,电极的形状是网型形状。
         

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