等离子体连续聚合处理装置的绝缘结构<%=id%>

分类号： C23C14/32;C23C14/56
颁证日：
优先权：
申请(专利权)人：乐金电子(天津)电器有限公司
地址： 300402天津市北辰区兴淀公路
发明 (设计)人：尹东植
国际申请：
国际公布：
进入国家日期：
专利代理机构：天津市才智有限责任专利代理事务所
代理人：甄洪庆
摘要
　本发明公开了一种等离子体连续聚合处理装置的绝缘结构，其结构包括：支持张紧轮的两端的轴支持装置；使轴支持装置与工作间底面之间保持电绝缘的第1绝缘材料；用来使固定螺钉与其周围部件之间保持电绝缘的第2绝缘材料；用作固定螺钉盖的第3绝缘材料。本发明的优点是，消除了聚合处理过程中或更换零件时可能发生的触电事故，避免了在聚合间以外区域发生的异常放电现象，解决了基材表面的涂层薄膜的特性恶化问题。
主权项
　权利要求书 1.一种等离子体连续聚合处理装置的绝缘结构，等离子体连续聚合处理装置包括：电源(10)、开卷间(11)、位于开卷间(11)的开卷轮(14) 张紧轮(16)、聚合间(12)、位于聚合间(12)内与基材(17)平行放置的平板状电极(18)，缠绕间(13)、位于缠绕间(13)内的张紧轮(16)，其特征在于：等离子体连续聚合处理装置的绝缘结构包括：支承张紧轮(16) 两端的轴支持装置、使上述轴支持装置与工作间底面之间保持电绝缘的第1 绝缘材料(21)、用来连接第1绝缘材料(21)和工作间(27)壁的固定螺钉(24)、使固定螺钉(24)保持电绝缘的第2绝缘材料(22)。

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