日本产综研开发出检测浓度范围更大的氢气传感器（图）

图1：新开发的传感器元件图2：新旧传感器的功能对比（氢气浓度与自生电压的关系）日经BP社2006年8月25日报道　日本产业技术综合研究所（产综研）开发出了可集成于半导体芯片的微型热电式氢气传感器。检测范围（空气中氢气的浓度）达到了0.5ppm～5％之间。用于氢气站等设施的泄露检测。今后将向有关机构提供传感器样品，力争将其应用于氢气设施中。该传感器在热电转换式MEMS元件上形成了以陶瓷支撑材料的铂触媒图案。与过去的传感器相比，更能发挥铂触媒的性能，因而具有良好的灵敏度和耐用性。因为空气中氢的浓度一旦达4％，就会*，因此氢气泄露检测技术需要氢气传感器能够在ppm级到4％这一最低*极限浓度范围之间进行高精度检测。但是，以前的接触燃烧式和半导体式氢气传感器很难在ppm到百分之几的大范围内进行检测。例如，接触燃烧式气体传感器依靠检测信号传感器的电阻变化进行检测，因此对高浓度区的检测比较有效，但在低浓度区由于灵敏度低，实际上根本无法检测。具体来说，燃烧发热导致温度变化0.01℃时，电阻变化仅为0.004％，实际上无法检测，因此不能当作传感器使用。新开发的热电式氢气传感器由
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