感光性高分子指某些高分子化合物在光的作用下,能够迅速发生光化学反应,从而引起了物理或化学性质变化,它普遍用于印刷、电子、涂料等工业。
感光性高分子也称光敏高分子,它在印刷电路、彩色电视荧光屏的制作上,尤其是在制造大规模集成电路等微型电路上成为不可缺少的材料。大规模集成电路是以微米为单位的精密图案线条,相当于头发丝的几十分之一,不可能采用铜锌板制作,而要使用光敏该蚀剂(又称光刻胶)。
可用作光敏刻蚀剂的高分子化合物是感光树脂,其中之一是聚乙烯醇肉桂酸酯。将它涂在半导体材料(如硅片)的表面,在上面覆盖一块掩模板(相当于印相时用的照相底片),然后用紫外线对感光树脂(聚乙烯醇肉桂酸酯中含有肉桂酰基,这里聚乙烯醇肉桂酸酯是功能高分子,肉桂酰基就是功能高分子中的功能基团)进行曝光,在紫外线作用下,肉桂酰基会发生二聚反应,生成不溶性的交联高分子。
经过曝光以后,受紫外线照射的部分变成不溶于溶剂或腐蚀液的硬化膜,而未受紫外线照射的聚乙烯醇肉桂酸酯可以用有机溶剂洗去,就可以进一步制造集成电路。
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