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人系统在纳米尺度下的系统建模方法、三维纳观力获取与感知及误差分析与补偿方面有很多突破与创新,达到世界先进水平。在项目研究中,科研人员实现了SPM纳米扫描运动机理和机器人监控系统技术的结合;建立了纳米尺度下的物体运动学与动力学分析与模型,探针三维受力形变分析与解耦方法;实现了传感器信息实时采集与处理、力/视觉反馈与人机交互控制、基于人工/自然标志的位置反馈控制方法等一系列关键技术,使机器人的操作控制精度达到纳米级。测试显示,在刻画操作中,在512像素区,重复定位误差小于5个像素,精度达1%以上;在移动纳米碳管的操作中,重复定位精度达到30 nm;而在基于路标的定位测试中,其定位误差小于4 nm。
最令人惊奇的是,在操作这台机器人过程中,操作者可以感受到实时的视觉变化和力的变化。也就是说,操作者可以感觉到推纳米物体过程中的力,看到被推的纳米物体在移动。据介绍,该机器人在纳米尺度的可观测、可控操作能力,可以广泛适用于纳米材料的力、电、化学特性科学实验研究、生物工程与医学实验研究、微纳米科研教学等领域,在IC工业中纳米器件的装配与加工方面更是有良好的应用前景。
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