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科学家让硅片上垂直长出碳纳米管 该技术有助于制作更高级的微电子元器件<%=id%> |
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,从而为制作更高级的纳米电子元件、传感器和无线装置打下了基础。 ... 该项研究的领导者之一、美国普渡大学机械工程系副教授费希尔称,让碳纳米管在硅片上垂直生长并排列,可以帮助制造出垂直型纳米电子装置,使人们有能力在同一区域集成更多东西,即在基板大小不变甚至更小的空间增加更多的电路层。
... 研究人员首先利用电子束蒸发技术(半导体业常规加工方法),制造出由两层铝中间夹超薄铁层的“三明治”结构的薄板。然后用阳极电镀方法,在薄板上选择一些微小圆形区域氧化出圆柱形孔穴,制成厚度不到人发丝直径1%的“多孔模板”,孔径控制在30—50纳米间。在这一过程中,研究人员外加电场,精确控制这些纳米级小孔有序地排列。最后,研究人员把模板放到氢气和甲烷的混合气体中,并用微波破坏甲烷的结构,用铁作催化剂促使甲烷中的碳原子结合形成碳纳米管,而这些碳纳米管会随着孔穴垂直生长。
... 据悉,薄板上制作孔穴的时间只需数秒钟,碳纳米管成形则需要几分钟。此项研究的另一位领导者森兹说,薄板上的每个小孔可长出一个单独的碳纳米管。这一点非常重要,因为它能让人们有目的地控制碳纳米管按指定位置和方式垂直生长,可满足未来电子设备和感应技术的需要。
... 碳纳米管自发现以来,被认为将给电子工业带来革命性变化,可用于制造超细纳米导线、更小的电路或新型晶体管,从而造出更低能耗和高性能的计算机。为此,首先需要将碳纳米管与其他元件集成在一起。垂直排列技术就可让碳纳米管做到这一点,这一新技术最可能应用于无线计算机网络和雷达技术。 ..
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