韩国汉城大学一个研究小组16日宣布开发成功一种利用现有集成电路生产设备大量生产纳米元器件的技术,成品元器件具有高集成度和高精度。
该技术可以使用目前普遍装备的标准集成电路生产设备。研究发现,在硅基片的选定位置覆盖非吸附性分子膜,然后在基片上涂布含有碳纳米管或纤维的溶液,纳米材料可以在分子膜为覆盖的位置自动地组合到一起,形成一个完成的纳米元件。研究人员强调说,这一过程在数秒钟内即可完成,且获得的元件的精度达到纳米级。研究小组利用这项技术,已经大量制造了“高性能半导体集成电路”以及“超高灵敏度生物探头”等元器件。最近,该小组开始接受纳米集成电路的订货加工。
主持这一研究的汉城大学教授洪承勋(译名)就此技术评论说,纳米材料就如同生物细胞一样,在亲水性溶液中自行寻找适当位置,形成一个完成的元器件。
该研究小组2003年发现了碳纳米材料同亲水性分子间具有的强结合力,之后用3年时间完成了有关的商业化研究。
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