(a)球形单晶二氧化铈纳米颗粒的扫描电子显微照片。(b)球形单晶二氧化铈纳米颗粒的透射电子显微照片。最外层的非晶包裹层是二氧化钛。(c)分子动力学模拟的球形二氧化铈纳米颗粒的结构。
本报讯(记者王丹红)美国福禄集团公司(Ferro)的奉向东博士和佐治亚理工学院的王中林教授等首次合成了具有规则球状的单晶二氧化铈纳米颗粒,并成功运用于硅晶片高精度平面的碾磨。这一最新成果以长篇报道的形式刊登在6月9日出版的美国《科学》杂志上。新研究不仅在实际应用中大大提高了硅晶片抛光表面的质量,而且在理论上首次论证了形成球形单晶陶瓷纳米材料的可能性。
奉向东是Ferro公司的资深研究员、新技术开发部主管和公司纳米核心技术主任。王中林是佐治亚理工学院校董事讲座教授和工学院杰出讲座教授、北京大学工学院先进材料和纳米技术系系主任、中国国家纳米科学中心海外主任。他们认为该发现必将在材料、化工、电子、催化等领域产生重大而深远的影响。
奉向东和王中林介绍,目前,基于硅晶片的集成电路制
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