由长春光华微电子设备工程中心有限公司承担的吉林省科技型中小企业技术创新基金“多功能薄膜电阻精修机”项目,日前通过了吉林省科技厅组织专家进行的评审验收。这种新型产品填补了国内空白,接近国际先进水平。
据了解,随着信息产业的飞速发展,片式元器件由于其体积小、制造成本低等优势正在逐渐被电子仪器大量使用,其中片式电阻是推动整个电子元件片式化浪潮的先导产品之一。薄膜电阻的精度要求十分严格,因此生产中必须对薄膜电阻进行修正加工。目前,激光工艺法对其修正加工已被认为是一种行之有效的好方法。其加工设备是激光调阻机,它是一种集光学、精密机械、电子学、计算机控制、精密测量等多种学科于一体的加工设备,也是片式电阻生产线中的关键设备。
中国科学院长春光机所最早在国内研制成功了激光调阻机。根据电子工业产业市场的发展和需求,该所与广东风华高科技股份有限公司联手成立了长春光华电子工程中心有限公司,共同开展“多功能薄膜电阻精修机”的科技攻关,并于2003年6月被列入吉林省科技型中小企业技术创新基金项目。他们充分发挥自身在精密、超精密仪器设备及其相关单元技术、高频高精度激光微细加工设备及相关单元技术领域较雄厚的理论基础和实际开发能力,结合生产实际需求,先后完成了L
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