LTR420型、LTR420A型、LTR420B型等新产品的开发,并且在多功能薄膜电阻精修机的高速、高精度有源数字电桥实时在线测量及光束定向控制技术,微米级高速机械定位控制技术,激光脉宽、频率的可调控技术,多单元高速同步控制技术等方面具有创新性。
另据介绍,这种多功能薄膜电阻精修机实现了片式薄膜电阻激光加工过程的自动化,可适用于0805型、0806型、0402型片阻以及排阻、网络电阻等。同时具有精密度高、工艺简便和高效等特点。目前,长春光华公司已经过中试阶段,具备了小批量的生产能力。它不仅能为企业发展创造出较高的经济效益和社会效益,而且其国产化对我国微电子产业装备制造业的发展与技术进步具有重要意义。
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