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    纳米级分辨率的X射线显微镜(图)

      美国斯坦福大学以苗江卫(音译)博士为首的研究小组研制成一种新型X射线显微镜,其空间分辨率可达到8纳米。在利用更强X射线源和延长曝光时间的条件下,有望通过它看到原子尺寸的间隙。

      众所周知,现在已有几种获得单个原子图像的方法,但是每种方法都有自己的界限。例如,透射式电子显微镜能在厚度仅为50纳米左右的样品中看到单个原子,扫描式显微镜只能在物质表面看到原子,结晶工艺能利用衍射方法获得物体三维结构,但是只适用于晶体。

      苗江卫研究小组提出的新方法是电子显微镜与衍射技术的巧妙结合,新方法利用相干X射线源,用相干X射线照射被研究样品。为了建立图像对反射的X射线衍射图像进行分析,由于X射线能进入样品表面特别小的区域,反射的X射线带有的只是该局部区域的信息,而不是整个样品的结构。现在,苗江卫研究小组发明的显微镜能获得的二维物体图像分辨率可达到8纳米数量级,获得的三维图像分辨率可达到50纳米数量级。
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