热制程控制方法以及热制程系统<%=id%>

琪. 国. 际申请：..
国. 际. 公. 布：.. 进入国家日期：..
专利代理机构：.. 北京林达刘知识产权代理事务所. 代.. 理.. 人：. 刘新宇
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. 摘要　.
.本发明提供一种热制程控制方法以及热制程系统，所述热制程控制方法，首先提供一梯度系数矩阵及第一加热模型。依据该第一加热模型，于第一晶圆批次执行第一制程回合。继之，测量该第一晶圆批次中至少一晶圆的膜厚。利用该梯度系数矩阵及该膜厚测量值，执行一统计制程控制分析。并依据该统计制程控制分析的结果，修正该第一加热模型，以取得一第二加热模型。依据该第二加热模型，于第二晶圆批次执行第二制程回合。本发明解决了现有技术中的问题，并且可防止因为制程回合不连续执行而造成的错误。
. 主权项　.
.1、一种热制程控制方法，所述热制程控制方法包括：提供一梯度系数矩阵；定义第一加热模型；依据该第一加热模型，于第一晶圆批次执行第一制程回合；测量该第一晶圆批次中至少一晶圆的膜厚；利用该梯度系数矩阵及该膜厚测量值，执行一统计制程控制分析；依据该统计制程控制分析的结果，修正该第一加热模型，以取得一第二加热模型；以及依据该第二加热模型，于第二晶圆批次执行第二制程回合。.
中国科技资讯网
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