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分 类 号：
H01J37/26;H01J37/252;H01J37/18
颁 证 日：
优 先 权：
2000.2.1 EP 00101987.6
申请(专利权)人：
ICT半导体集成电路测试有限公司
地 址：
德国海姆斯特滕
发 明 (设计)人：
汉斯-彼得·福尤尔鲍姆
国 际 申 请：
CT/EP01/00931 2001.1.29
国 际 公 布：
WO01/57910 英 2001.8.9
进入国家日期：
2002.08.28
专利 代理 机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代 理 人：
李强
摘要
一种用于检查样品(14)的带电粒子束设备的小型化光学柱。该柱包括一个带电粒子源(2)，用于提供一个带电粒子束(10)；一个透镜系统，用于引导带电粒子束(10)自源(2)到样品(14)上；及一个外罩(40)，在运行期间该外罩被置为束流加强电位。
主权项
权利要求书
1.一种用于用来检查样品(14)的带电粒子束设备的小型化光学
柱，包括：
一个带电粒子源(2)，用于提供一个带电粒子束(10)；
一个透镜系统，用于把带电粒子束(10)从所述源(2)引导到所
述样品(14)上；及
一个外罩(40)，其中在运行期间所述外罩被置为束加强电位。
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