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在多层印刷电路板的制造工艺中使用的标记设备<%=id%> |
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5的芯板51中的标准标记50上,并将标准标记50的图像投影在荧光屏12上。通过可见光CCD照相机13捕获图像,由此检测标准标记50的位置。使用标准标记50的检测位置作为对准参考,该设备借助镜子22和23将紫外线辐照在干膜抗蚀剂层55上,并将光掩模24和25上出现的标记分别印制在干膜抗蚀剂层55上。
主权项
权利要求书
1.一种用于标记多层印刷电路板的设备,用在制造包括多个绝缘层和
多个具有导电图形的导电层的多层印刷电路板的工艺中,该设备包括:
能被X射线检测的标记,该标记形成在所述多层印刷电路板的至少一个所
述层上;
使X射线照射在含有所述标记的区域上并检测标记的位置的装置,以及
根据所检测的标记的位置,在所述多层印刷电路板的外层上形成另一标记
的装置。
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