双灯泡型曝光装置<%=id%>

分类号： G03F7/20;H01L21/027
颁证日：
优先权： 2001.9.28 KR 60342/2001;2001.9.28 KR 60343/2001;2001.9.28 KR 60344/2001
申请(专利权)人： LG电子株式会社
地址：韩国汉城市
发明 (设计)人：朱愿暾;车相焕;金明官
国际申请：
国际公布：
进入国家日期：
专利代理机构：北京市柳沈律师事务所
代理人：杨梧;马高平
摘要
　本发明提供了一种通过防止在涂覆有感光材料的面板照射光束灯泡的倾斜配置、能够增加灯泡的照度并且从结构上降低光损失的双灯泡型曝光装置。在具有将光束照射至用于印制图案的涂覆有感光材料的面板处的光学系统的曝光装置中，所述光学系统包括：与地面垂直配置可发射出光束的两个灯泡；分别设置在所述各灯泡处、以照射至上侧处或下侧处的方式使照射光束反射光束的椭圆型镜；调整由各灯泡和椭圆型镜给出的光束路径的第一光路调整系统；将入射光束发散为均匀强度光束用的蝇眼型透镜；将由所述蝇眼型透镜发散后的光束垂直反射至曝光面的视准镜；以及按照与所述蝇眼型透镜正交方式配置、将由所述第一光路调整系统调整过光路的光束反射至所述蝇眼型透镜的二角型反射镜。
主权项
　权利要求书 1.一种双灯泡型曝光装置，具有将光束照射至用于印制图案的涂覆有感光材料的面板处的光学系统，其特征在于，所述光学系统包括：与地面垂直配置、可发射出光束的两个灯泡；分别设置在所述各灯泡处、以照射至上侧处或下侧处的方式使照射光束反射的椭圆型镜；对由各灯泡和椭圆型镜给出的光束路径实施调整用的第一光路调整系统；将入射光束发散为均匀强度光束用的蝇眼型透镜；将由所述蝇眼型透镜发散后的光束垂直反射至曝光面的视准镜；以及按照与所述蝇眼型透镜正交方式配置、将由所述第一光路调整系统调整过光路的光束反射至所述蝇眼型透镜的二角型反射镜。

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